2025-01-05 02:03:16
現(xiàn)代光電設(shè)備在系統(tǒng)的復(fù)雜化與小型化得到了巨大改進。一種應(yīng)用需求為使用定制的透鏡陣列來準直和投射來自線性排列的邊緣發(fā)射激光二極管以形成復(fù)合激光線。消費類相機和投影模塊中的微型光學(xué)元件通常需要多個元件才能滿足性能規(guī)格。復(fù)雜的組裝對于需要組合成具有微米間距的線性陣列提出了額外的挑戰(zhàn)。塑料模型元件可以提供特殊的曲率需求,盡管可用的折射率會導(dǎo)致高度彎曲的表面產(chǎn)生球面像差,從而抑制準直性能。硅灰度光刻技術(shù)可以在單個高折射率表面上實現(xiàn)復(fù)雜的透鏡形狀,同時還可以在多個孔之間提供精確的對準和間距。多孔徑透鏡陣列設(shè)計用于沿快軸準直激光,并在慢軸上提供±3°發(fā)散角。陣列中的每個元素還包含偏心和衍射項,以偏置主光線角并與發(fā)散的光錐重疊以形成連續(xù)的激光線。
Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)QuantumX的中心是Nanoscribe獨jia專li的雙光子灰度光刻技術(shù)。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計迭代,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX,并榮獲創(chuàng)新獎。該系統(tǒng)是世界上No.1基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL?)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。