2024-12-17 13:07:44
新材料或?qū)⒊蔀閲a(chǎn)MEMS發(fā)展的新機會。截止到目前,硅基MEMS發(fā)展已經(jīng)有40多年的發(fā)展歷程,如何提高產(chǎn)品性能、降低成本是全球企業(yè)都在思考的問題,而基于新材料的MEMS器件則成為擺在眼前的大奶酪,PZT、氮化鋁、氧化釩、鍺等新材料MEMS器件的研究正在進(jìn)行中,**先一步投入應(yīng)用,將是國產(chǎn)MEMS彎道超車的好時機。另外,將多種單一功能傳感器組合成多功能合一的傳感器模組,再進(jìn)行集成一體化,也是MEMS產(chǎn)業(yè)新機會。提高自主創(chuàng)新意識,加強創(chuàng)新能力,也不是那么的遙遠(yuǎn)。EBL設(shè)備制備納米級超透鏡器件的原理是什么?北京MEMS微納米加工功能
MEMS超表面對特性的調(diào)控:
1.超表面meta-surface對偏振的調(diào)控:在偏振方面,超表面可實現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換、旋光、矢量光束產(chǎn)生等功能。
2.超表面meta-surface對振幅的調(diào)控。超表面可以實現(xiàn)光的非對稱透過、消反射、增透射、磁鏡、類EIT效應(yīng)等。
3.超表面meta-surface對頻率的調(diào)控。超表面的微結(jié)構(gòu)在共振情況下可實現(xiàn)較強的局域場增強,利用這些局域場增大效應(yīng),可以實現(xiàn)非線性信號或熒光信號的增強。在可見光波段,不同頻率的光對應(yīng)不同的顏色,超表面的頻率選擇特性可以用于實現(xiàn)結(jié)構(gòu)色。
我們在自然界中看到的顏色從產(chǎn)生原理上可以分為兩大類,一類是由材料的反射、吸收、散射等特性決定的顏色,比如常見的顏料、塑料袋的顏色等;另一類是由物質(zhì)的結(jié)構(gòu),而不是其所用材料來決定的顏色,即所謂的結(jié)構(gòu)色,比如蝴蝶的顏色、某些魚類的顏色等。人們利用超表面,可以通過改變其結(jié)構(gòu)單元的尺寸、形狀等幾何參數(shù)來實現(xiàn)對超表面的顏色的自由調(diào)控,可用于高像素成像、可視化生物傳感Bio-sensor等領(lǐng)域。 北京MEMS微納米加工功能隨著科技的不斷進(jìn)步,MEMS 微納米加工的精度正在持續(xù)提高,趨近于原子級別的操控。
MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測:
光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術(shù)。如要對THz脈沖信號進(jìn)行探測,首先,需將一個未加偏置電壓的PCA放置于太赫茲光路之中,以便于一個光學(xué)門控脈沖(探測脈沖)對其門控。其中,這個探測脈沖和泵浦脈沖有可調(diào)節(jié)的時間延遲關(guān)系,而這個關(guān)系可利用一個延遲線來加以實現(xiàn),爾后,用一束探測脈沖打到光電導(dǎo)介質(zhì)上,這時在介質(zhì)中能夠產(chǎn)生出電子-空穴對(自由載流子),而此時同步到達(dá)的太赫茲脈沖則作為加在PCA上的偏置電場,以此來驅(qū)動那些載流子運動,從而在PCA中形成光電流。用一個與PCA相連的電流表來探測這個電流即可,
MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù):
太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段,太赫茲波探測對提升人類認(rèn)知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。當(dāng)前,太赫茲超導(dǎo)接收機多采用單獨的金屬喇叭天線和金屬封裝,很難進(jìn)行高集成度陣列擴展。大規(guī)模太赫茲陣列接收機發(fā)展很大程度受到天線及芯片封裝技術(shù)的制約。課題擬研究基于MEMS體硅工藝技術(shù)的適合大規(guī)模太赫茲超導(dǎo)接收陣列應(yīng)用的0.4THz以上頻段高性能集成波紋喇叭天線,及該天線與超導(dǎo)混頻芯片一體化封裝。通過電磁場理論分析、電磁場數(shù)值建模與仿真、低溫超導(dǎo)實驗驗證等手段, MEMS的單分子免疫檢測是什么?
MEMS技術(shù)的主要分類:光學(xué)方面相關(guān)的資料與技術(shù)。光學(xué)隨著信息技術(shù)、光通信技術(shù)的迅猛發(fā)展,MEMS發(fā)展的又一領(lǐng)域是與光學(xué)相結(jié)合,即綜合微電子、微機械、光電子技術(shù)等基礎(chǔ)技術(shù),開發(fā)新型光器件,稱為微光機電系統(tǒng)(MOEMS)。微光機電系統(tǒng)(MOEMS)能把各種MEMS結(jié)構(gòu)件與微光學(xué)器件、光波導(dǎo)器件、半導(dǎo)體激光器件、光電檢測器件等完整地集成在一起。形成一種全新的功能系統(tǒng)。MOEMS具有體積小、成本低、可批量生產(chǎn)、可精確驅(qū)動和控制等特點。MEMS的超材料介紹與講解。北京MEMS微納米加工功能
MEMS微流控芯片是什么?北京MEMS微納米加工功能
MEMS制作工藝-太赫茲傳感器:
太赫茲(THz)波憑借其可以穿透大多數(shù)不透光材料的特點,在對材料中隱藏物體和缺陷的無損探測方面具有明顯的優(yōu)勢。然而,由于受到成像速度和分辨率的束縛,現(xiàn)有的太赫茲探測系統(tǒng)面臨著成像通量和精度的限制。此外,使用大陣列像素計數(shù)成像的基于機器視覺的系統(tǒng)由于其數(shù)據(jù)存儲、傳輸和處理要求而遭遇瓶頸。
這項研究提出了一種衍射傳感器,該傳感器可利用單像素太赫茲探測器快速探測3D樣品中的隱藏物體和缺陷,從而避免了樣品掃描或圖像形成及處理步驟。利用深度學(xué)習(xí)優(yōu)化的衍射層,該衍射傳感器可以通過輸出光譜全光探測樣品的3D結(jié)構(gòu)信息,直接指示是否存在隱藏結(jié)構(gòu)或缺陷。研究人員使用單像素太赫茲時域光譜(THz-TDS)裝置和3D打印衍射層,對所提出的架構(gòu)進(jìn)行了實驗驗證,并成功探測了硅樣品中的未知隱藏缺陷。該技術(shù)在**篩查、生物醫(yī)學(xué)傳感和工業(yè)質(zhì)量控制等方面具有重要的應(yīng)用價值。 北京MEMS微納米加工功能