相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。上海直流探針臺供應商

晶圓探針測試臺是半導體工藝線上的中間測試設備，與測試儀連接后，能自動完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、**格的電子產(chǎn)品的需求日益增長，這就要求在一個芯片中集成更多的功能并進一步縮小尺寸，從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺發(fā)展的主要方向。因此，傳統(tǒng)的手動探針測試臺和半自動探針測試臺已經(jīng)不能滿足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自動化，高可靠性的全自動晶圓探針測試臺。上海直流探針臺供應商探針臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的。

主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。

探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業(yè)向來有“一代設備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產(chǎn)線投資中，設備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半導體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟環(huán)境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預計疫病過后，將恢復增長。盡管隨著探針壓力的增強，接觸電阻逐漸降低，終它會達到兩金屬的標稱接觸電阻值。

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區(qū)。上海直流探針臺供應商

焊針時，應憑自己的經(jīng)驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點。上海直流探針臺供應商

平面電機x-y步進工作臺：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。上海直流探針臺供應商